配资在线门户 台积电敲定2030年High NA EUV量产! 12英寸光罩升级路线图出炉

2026年9月8日，ASML与台积电发布联合新闻稿宣布，双方已于9月7日在美国加州蒙特雷举行的SPIE BACUS先进微影技术研讨会前夕，共同发起一项全产业合作倡议，旨在推动极紫外（EUV）光罩由现行

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